Al electroplating for MEMS
Aluminum electroplating from ionic liquid and its microsystem application
マイクロシステム応用を目指したアルミニウム電気めっき技術
研究内容 Research
Flexible MEMS
Development of processing technologies for flexible MEMS
フレキシブルMEMSの作製技術
In-vivo measurement system
Sensor system for in-vivo measurement
体内その場計測技術
Medical device
Embedding sensors for smart medical instruments
医療機器へのセンサ実装による多機能化
MEMS platform based on wafer bonding
Microsystems process platform enabled by wafer bonding process
ウェハレベル接合によるマイクロシステムプロセスプラットフォーム
Heterogeneous integration and packaging
Wafer-level hermetic bonding for heterogeneous device integration and packaging using planarized metal frames
平坦化した金属フレームを用いてヘテロデバイス集積化・真空封止接合・パッケージング
Wearable sensor system
Wearable sensor system and signal processing
ウェアラブルセンサシステム及びその信号処理
